电科技连获两大国家级项目立项|科技部颠覆性专项+工信部揭榜挂帅同步推进 百吨级ALD装备量产破国际垄断

 

  近日,工业和信息化部(工信部)正式揭晓了2025年未来产业创新任务揭榜挂帅项目入围单位名单柔电(武汉)科技有限公司(以下简称“柔电科技”)联合江汉大学、武汉工程大学共同申报的“粉体原子级包覆技术与装备”项目成功入围。此前,柔电科技主持的“高通量原子层级精度微纳米颗粒包覆装备”项目已获批国家重点研发计划颠覆性技术创新重点专项。此次接连入选科技部和工信部两项国家级项目,充分彰显了柔电科技在原子级制造领域的研发实力和技术引领地位。

 

  工信部相关负责人强调,未来产业由前沿技术驱动,具有显著的战略性、引领性、颠覆性和不确定性。通过揭榜挂帅机制,加快培育以未来制造和未来信息为代表的未来产业,有助于引领科技进步、带动传统产业转型升级、抢占国际竞争制高点,为构建现代化产业体系、推动高质量发展提供持续动力。工信部特别指出,原子级制造作为未来产业的关键领域,具有高度挑战性、产业创新性、国际战略性和经济带动性,对推进新型工业化意义重大。当前,原子级制造正从理论创新与关键技术突破迈向产业化关键阶段。我国凭借良好的技术基础、人才储备、大规模多样化应用市场以及完整的制造业体系,迎来了发展原子级制造的新机遇。

柔电科技首次提出“微纳米颗粒表面极限构筑/极限调控/极限制造(3E)”概念,通过关键技术创新解决了微纳颗粒原子级制造的难题。该创新将半导体行业的原子层薄膜沉积技术(ALD)与化工制造中的大规模多相混合技术相融合,实现了技术突破:

• 材料-分散-反应一体设计制造理论:创新性开发了微纳米颗粒表界面原子级构筑装备的设计框架。

• 反应腔核心制造技术:发展了大批量微纳米颗粒表界面原子级构筑反应腔的核心制造工艺。

• 高压连续输送原理与装备:创新了微纳米粉体高压连续输送的设计方法及装备实现。

• 原位监测系统集成:提出微纳米颗粒表界面原子级构筑过程的原位监测系统集成理论,以及参数测量与控制的新方法。

  通过这些核心技术突破,柔电科技成功研发出具有完全自主知识产权的年产量百吨级微纳米颗粒表界面原子层级构筑示范装备,并实现批量生产。这一成果标志着中国在高端粉体材料原子级精密制造装备领域实现自主可控的重大突破,打破了国外技术垄断,使柔电科技成为国内首家量产百吨级ALD原子级制造装备的企业。目前,该装备已在电池、导热和航空航天、AI芯片等领域成功应用,并服务于行业头部企业,推动产业升级。

  柔电科技高度重视知识产权体系建设,围绕ALD原子级制造装备已授权核心发明专利50余项,发表SCI论文10余篇。团队创新实力获广泛认可,累计获得省部级与国家级行业协会科技进步奖十余项。2023年,该项目作为湖北省唯一产业基础类成果入选中国科协“科创中国”先导技术榜单,并主导制定了《原子层沉积粉体包覆设备》团体标准。2024年,公司获批科技部国家重点研发计划颠覆性技术创新项目;2025年,问鼎日内瓦国际发明展金奖,并入选湖北省制造业中试平台,持续引领行业前沿发展。

创建时间:2025-10-13 11:13
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