蟠龙-LNY-20KG CVD
单次处理20公斤微纳颗粒气相沉积包覆设备
可高温上下料
利用流化床分散设计
可高温上下料
利用流化床分散设计
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蟠龙-LNY-20KG CVD Technical Specifications |
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系统配置 |
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1.尺寸 (长 x 宽 x 高) |
单体 5550mm×2320mm×5310mm |
包括 |
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2.重量 (KG) |
单体 8300Kg |
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3.电源 |
单体 88KW 380 VAC 180A |
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4.基础系统功能及配置 |
微纳颗粒气相沉积包覆设备 |
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基本功能 |
可在微纳颗粒样品上实现 气相原子层沉积 膜层生长工艺 |
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样品重量 |
克级别粉末，优化工艺一般推荐 20kg 以内 |
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工艺温度 |
工艺温度范围从室温到 900°C |
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工艺配件 |
配备 气相沉积包覆工艺套件，具有高温密封和优化气流设计 |
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5.特色 |
高温反应腔体设计， 可自动运行流化 |
包括 |
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底部搅拌系统，实现工艺中粉体的均匀分散，易于清洁及操作， 保证工艺重复性 |
包括 |
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最高工艺温度 900 °C，为多膜系研发开发设计 |
包括 |
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有上下料罐设计，可以实现自动连续的加工和实验 |
包括 |
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共 4 路气体注入管道， 可以注入3种不同工艺气体，有惰性气体冲洗设计，可以避免危险气体在管道内的残留 |
包括 |
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多道安全控制， 可编辑配方，完整的数据记录和易于使用的 GUI 界面 |
包括 |
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多种定制化选项 |
可选 |
